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產(chǎn)品與服務(wù)

應(yīng)用領(lǐng)域
電子類

1. 可鍍制高級電器和通訊用觸點(diǎn)材料,在長扁絲表面上鍍金膜;在柔性襯底、玻璃襯底上鍍CdTe/CdS;在SiC絲上鍍鈦合金等材料
2. 矩形磁控靶兩套,繞線筒濺射成膜
3. 轉(zhuǎn)盤支架上加直流負(fù)偏壓
4. 射頻清洗系統(tǒng),用于樣品反濺清洗
5. 繞線筒的選材和工作方式滿足金屬絲材(根據(jù)客戶要求調(diào)整)的使用,考慮其熱脹冷縮對絲材的影響

基本參數(shù):

爐體尺寸

Ф1100XH950

有效空間

Ф750XH500

應(yīng)用技術(shù)

IET+SmallARC

靶材數(shù)量

10Pcsxφ100

標(biāo)準(zhǔn)涂層

TiN, CrN, AlCrN, etc.

其他復(fù)合涂層

TiAlCrN, TiSiN,TiAlCN,etc.

生產(chǎn)周期

5小時(shí)/爐

外圍尺寸

L4500XW2650XH2400mm

使用范圍

貼片電阻,貼片電容,復(fù)合金觸點(diǎn),3C線路板,工件等

寧波駿鷹真空科技有限公司

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