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1.外觀尺寸：4200mm (L)χ1700mm (W)χ1950mm (H)
2.進(jìn)料區(qū)：可放置625mmχ505 mm料盤二十盤，一盤Max 35個(gè)治具，一次入料Max可達(dá)700個(gè)治具，自動(dòng)送料盤結(jié)構(gòu)配置一個(gè)KY- 400高真空分子泵或10 FCryo pump及採(cǎi)用Rotary pump + Booster之低真空pump組合，抽氣速率可達(dá)10000 L/hr
3.鍍膜製程區(qū)：本區(qū)域設(shè)計(jì)共8個(gè)濺射陰極，採(cǎi)用上方四個(gè)、下方四個(gè)，並以左右對(duì)稱之方式設(shè)計(jì)，配置一個(gè)10FCryo pump，前後     各配置一個(gè)(共兩個(gè))方形閘閥，使入料及出料可保持真空。
4.出料區(qū)：二十盤料盤，Max700個(gè)治具，一次出料自動(dòng)收料機(jī)構(gòu)。
5.電控裝置區(qū)：採(cǎi)用日本三菱PLC，高信賴度，易於保養(yǎng)維護(hù)。
二：設(shè)計(jì)概念：

採(cǎi)用最簡(jiǎn)化即是最佳化(Simple Is The Best)設(shè)計(jì)理念。針對(duì)以下問題點(diǎn)做全面考量：
• 腔體尺寸
• 機(jī)構(gòu)設(shè)計(jì)
• 抽氣系統(tǒng)設(shè)計(jì)
• 靶材更換便利性
• 設(shè)備維護(hù)保養(yǎng)
• 鍍膜品質(zhì)需求
• 軟體功能設(shè)計(jì)
• 生產(chǎn)效率
三：系統(tǒng)特色
• 腔體採(cǎi)用模組化設(shè)計(jì)，易於搬運(yùn)及組合，機(jī)構(gòu)易調(diào)校
• 自動(dòng)送料、收料系統(tǒng)
• 多靶濺射，生產(chǎn)速度快
• 軟硬體高度整合以減少人為操作錯(cuò)誤的可能性
• 圖形化操作介面，易學(xué)易操作，動(dòng)態(tài)顯示設(shè)備運(yùn)轉(zhuǎn)現(xiàn)狀
• 控制電路板佔(zhàn)用空間小，設(shè)計(jì)上易維修與查線
• 附換靶臺(tái)車，省力方便。
四：系統(tǒng)組態(tài)及系統(tǒng)規(guī)格
4.1系統(tǒng)組態(tài)：

4.2系統(tǒng)規(guī)格及技術(shù)指標(biāo)：
 1. 控制系統(tǒng)；
 　採(cǎi)用三菱PLC自動(dòng)控制+人機(jī)介面
 2.腔體Chamber
　材質(zhì)：SUS304不銹鋼材質(zhì)外加Water Jacket出料區(qū)、進(jìn)料區(qū)大門材質(zhì)為鋁合金
 3.電漿源與靶材
　電漿源：磁控濺射源x 8、水冷式〈上方四靶，下方四靶〉靶材尺寸：5”x 22”x 1/2”Target
固定方式：Clamp type 
4.DC電源供應(yīng)器
　MAX 8 KW水冷式